◆ JED-2300T 能譜儀AnalysisStation

JED-2300T 能譜儀是以“圖像觀察和分析"為基本理念的TEM/EDS集成系統(tǒng)。在分析數(shù)據(jù)過程中，自動采集電鏡主機的倍率、加速電壓等參數(shù)，進行數(shù)據(jù)管理。

硅漂移檢測器（以下簡稱SDD）的檢測面積有30mm2、60mm2和100mm2三種。檢測面積越大，檢測靈敏度越高。JEM-ARM200F（HRP）配合使用DRY SD100GV檢測器（檢測面積為100mm2），可同時實現(xiàn)大受光面積和高分辨率， 可以清楚地識別B、C、N、O等輕元素。

◆ 快速元素面分析

DRYSD100GV檢測器的靈敏度高，測試Au催化劑顆粒只需一分鐘。

上圖: 樣品　負載在Ti氧化物上的Au催化劑顆粒
裝置: JEM-ARM200F +　DRYSD100GV檢測器
測試時間: 大約1分鐘 
束流電流: 1nA
像素數(shù): 256ｘ256像素

◆ 實現(xiàn)原子分辨率的面分析

Sr和Ti的原子列被清楚地分離開來。

上圖: 樣品　SrTiO3<100>
裝置: JEM-ARM200F + DRYSD100GV檢測器
測試時間: 大約10分鐘
束流電流: 1nA
像素數(shù): 128ｘ128像素

◆ play Back（回放）功能

用JEOL制造的EDS采集的元素面分布圖，不僅保存了每一幀中各個像素點的譜圖，還對每一幀中電子束形成的圖像進行了存儲。利用play back功能，可以進行多角度的分析如觀測譜圖等隨時間的變化等。測試后數(shù)據(jù)能夠回放，可以觀察到樣品按時間順序發(fā)生的變化，這是至今為止無法實現(xiàn)的。此外，利用play back功能還可以截取任意的畫面。

上圖: 裝置　JEM-2800+DRYSD100GV檢測器
樣品: 巖鹽
像素數(shù): 128ｘ128
提取的幀號: 398幀s